SPREKER

Antoine Verweij, Mechatronisch architect, ASML

TITEL

Mechatronica in een vacuümomgeving

ABSTRACT

Het belichtingsproces in de EUV-machines van ASML gebeurt in vacuüm. Het was daarom nodig om de vele mechatronische modules waaruit een ASML-machine bestaat geschikt te maken voor deze omgeving. Een van deze mechatronische modules vervult een functie in het lichtpad om een gedefinieerde lichtbundel te verkrijgen. Omdat deze module ook een scannende beweging maakt, moet deze in staat zijn om een groot aantal lineaire bewegingen per tijdseenheid te maken.

Voor het realiseren van de gespecificeerde functie zijn in het designtraject ontwerpafwegingen gemaakt die een substantiële impact hadden op de uiteindelijke mechatronische performance.

Drie van deze afwegingen zijn:

• Type rechtgeleiding (guiding)
• Type motor (actuator)
• Meetsysteem

In deze presentatie bespreekt Antoine Verweij de drie afwegingen en hun impact op de performance.

BIOGRAFIE

Antoine Verweij (1973) doorliep lts, mts en hts om uiteindelijk te eindigen op de TU Eindhoven. Steeds was elektrotechniek zijn specialiteit. In 2001 begon hij bij ASML, om te beginnen bij de productondersteuning vanuit D&E. Daarna is hij architect in opleiding en integrator van een nieuw product dat samen met Philips CFT werd ontwikkeld. Sinds 2004 is hij mechatronisch architect. Inmiddels heeft Verweij samen met een ontwerpteam twee mechatronische modules ontwikkeld, waarvan de laatste module voor ASML’s vacuümmachine was.